真空泵机组开关机流程

浏览： 1176| 2018-11-03 16:54:37 | 分享：

　　真空泵机组以其良好的抽气能力被各个行业广泛使用，但是由于其操作比较精细，所以我们在实际使用时一定要注意其相关的注意事项，其中重要的就是开关机的操作过程，因为开关机操作不当就可能会导致机组故障。

　　真空泵机组开机：

　　1、启动VB150维持泵，然后打开出口阀。当电阻计2真空度达到5帕以下时，启动扩散泵加热。

　　2、启动VB200旋片泵，打开旁通阀；当电阻计1真空度达到 2000帕以下时，开启2ZJP—300罗茨泵，进行预抽。

　　3、扩散泵加热50分钟以上且电离计真空达到5帕以下时，先关闭旁通阀，再打开主阀，进行主抽。

　　4、关闭2ZJP—300罗茨泵，30秒后关闭VB200旋片泵。

　　真空泵机组关机：

　　1、关闭主阀。

　　2、启动-----关机程序。

　　真空泵机组并不是直接打开就可以使用了，而是要先按照顺序打开各个真空泵并且预热，这样能够将机组各个部件调整到适合工作的状态从而提高使用效率，关机同样要按照一定顺序来关机，从而保证机组的安全。