真空机组的抽速

　　真空机组为了能够不断的提高工作效率就要让工作时的抽气时间尽可能的缩短减少，同样的这样也可以减少能源上的损耗，所以如何在工作时让它的抽气速度变快就显得非常重要。

　　真空机组真空度要求在0.5Pa以下，就需要改虑放气对压力变化的影响。放气量随时间的变化缓慢。特别是在无烘烤的情况下。要在预定较短的时间内达到较高的真空度，就需要以较大的抽速抽除较大的放气量。也就是说如放气量为Q,泵的有效抽速为S0,则可达到平衡压力P=Q/S0、如平衡压力确定，则达到的时间越短，要求泵的有效抽速就越大。蒸发镀膜就是典型的这类的应用，由于蒸镀的速度快，时间短，所以不考虑放气量的影响（即活性气体的影响）。但蒸发粒子的能量低，要求绝大部分粒子无碰撞地沉积到工件上，以保证结合力及减少散射，这就要求真空室内的平均自由程不小于蒸发源到工件的距离，与此相应的压力约在1×10-2Pa,这便是蒸发镀膜对真空度的要求。

　　如何在尽量短的时间内达到这一压力，就对泵的有效抽速提出了要求，原则是时间越短，由于放气量越大，有效抽速就要求越大。所以蒸发镀膜一般配置抽速强大的油扩散泵机组，功率有数十千瓦，几分钟至十几分钟内便可达到工作真空度，但该系统对工件造成的油蒸汽污染是难以避免的，特别是塑料金属化膜层易发黄。

　　真空机组要想在保证真空度要求的情况下提高抽速只有通过配置上更强功率的机组，但是这同样是个双刃剑，因为功率越大的机组也就意味着越容易造成蒸汽污染，也越容易使机组呈现故障，所以我们在实际选择时做到尽量平衡没从在保证抽速的情况下选择性价比较好的产品。