真空机组的种类

　　真空机组作为主流的抽气设备，其在设计开发上为了满足不同类型的工作需求从而设计出不同种类的机组，不同类型的机组在排气量和速度上都有一定的区别。

　　一、低真空机组：工作压力高、排气量大，多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。主泵常用容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任，但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件，需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。

　　二、中真空机组：适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中，如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中它由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起，罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多，适应性更广。

　　三、高真空机组：工作真空度为10-2-10-3Pa,其极限真空度为10-4Pa。机组的主泵通常为油扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，需要配里预抽泵或前级维持泵。有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级贮气罐，以防止气压波动，改善机组性能。

　　四、超高真空机组：工作在10-6-10-8Pa，除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200-450℃的高温烘烤外，对机组的要求还有：主泵的极限真空要高，至少在10-7-10-8Pa以上。在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速。来自主泵的返流气体的分压力要足够低；对被抽气体选择性强的主泵要配备足够大的辅助泵；机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件材料的选择和密封要特别慎重。一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属密封圈。

　　不同行业对真空机组工作的压力大小和抽速需求有着明显的区别，一旦选用错误类型的机组就可能达不到理想的效果，所以我们在选用该产品前需要对其有一定的了解。